性能特點
1、高精度．安定性．機能性卓越適合于 FPD 基板·晶圓硬盤 等的微細形狀、段差、粗度測定的機型；
2、是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇；
3、ET4000A/ ET4000AK 一可實現 2D/3D 表面形狀測量；
4、 ET4000M 一高性能的泛用微細形狀測定機；
5、ET4000L 一對應大型工件的全自動微細形狀測定機；
6、ET4300 一適合 12"樣品測量。
技術參數
1、最大試片尺寸：210x 210mm~ 300x 400mm
2、重現性：1σ 0.5nm 以內
3、測定范圍：Z:100um X:100 ~ 305mm (Y 移動量:150~ 400mm)
4、分解能：Z:0.1nm X:0.1um
5、測定力：0.5UN~ 500UN (0.05mg-50mg)
